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Jong-hwan Lee, a microelectronics professor at South Korea's Sangmyung University, recently informed Nikkei that no practical substitute exists for helium in wafer cooling. With EUV implementation accelerating — SK hynix made a historic $7.9 billion purchase of ASML EUV equipment on March 24 — helium usage per wafer is rising rather than falling. The Semiconductor Industry Association cautioned in a 2023 submission to the USGS that helium supply interruptions "would probably cause disruptions to worldwide chip fabrication.",更多细节参见豆包下载
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